1. 共聚焦顯微拉曼光譜系統(tǒng)主要部件：
整套系統(tǒng)需包含激光器，共聚焦顯微鏡，高靈敏度光譜儀，光柵，高端低噪音CCD探測器，分析軟件等。
2. 主要功能：
拉曼光譜測試：可測量共聚焦顯微拉曼光譜；
3 主要指標：
3.1?激光器：?
1）532nm TEM00單模激光器，50mW
2）638nm單模激光器，50mW
3）785nm單模激光器，100mW
4）*三激發(fā)波長全自動切換
3.2光譜儀與檢測器系統(tǒng):
1)?高靈敏度光譜儀焦長：300 毫米；
2)?*光譜儀內(nèi)采用全反射鏡，光譜范圍可覆蓋200-1100nm；
3)?*可以同時配備600,1200及1800刻線三塊光柵，可實現(xiàn)軟件控制全自動切換，無需手動更換光柵
4)?拉曼光譜范圍：可覆蓋100-5000cm-1；
5)?白光光譜: 在不轉(zhuǎn)光柵條件下, 可一次型采集530 nm至800 nm全波段范圍譜線，無轉(zhuǎn)光柵接譜.
6)?光譜分辨率：優(yōu)于2?cm-1；
7)?*光譜重復(fù)性：優(yōu)于0. 05?cm-1；
檢測標準：在日常實驗條件下，使用單晶硅，采用532 nm激發(fā)及100x物鏡，重復(fù)100次，觀察硅520 cm-1拉曼峰位置的可重復(fù)性
8)?*高靈敏度：能清晰地觀察到硅的四階拉曼峰，其中硅的三階拉曼峰（約1440 cm-1）信噪比好于20:1，要求無明顯的N2和O2拉曼峰，N2和O2拉曼峰強不高于4階峰;
檢測標準：使用單晶硅片，激光波長532 nm，激光功率不超過10.0 毫瓦，，積分時間60秒，累積5次，顯微鏡鏡頭為100x
9)?*光譜檢測器：采用高端背照射CCD,?峰值量子效率>=90%, TE制冷至-60度.
3.3?共聚焦性能：
1) *真實針孔共聚焦系統(tǒng)：為了獲得最佳的共聚焦效應(yīng)，要求系統(tǒng)采用真正的針孔共聚焦，而非狹縫式的贗共聚焦。針孔大小可以自動連續(xù)調(diào)節(jié)10-100um。
2)*橫向（XY方向）光學(xué)空間分辨率：使用100倍干物鏡和共聚焦孔不小于50?mm時，拉曼成像橫向光學(xué)分辨率：≤ 500 nm @ 532?nm，越高越好。
檢測條件（需配置自動平臺）:?以直徑不超過50nm的一維納米材料為樣品(石墨烯完美邊緣也可以，光柵樣品不可接受), 以50 nm為步長沿垂直納米材料方向做拉曼線掃描, 獲得納米材料拉曼強度的空間分布曲線，其強度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像橫向光學(xué)分辨率。?
5) *縱向（Z方向）空間分辨率（需配置自動平臺）：使用100倍干物鏡和共聚焦孔不小于50mm時，拉曼成像縱向光學(xué)分辨率：≤ 1000 nm@532 nm，越高越好。
檢測條件: 以懸空的少層石墨烯為樣品, 以50 nm為步長沿Z軸方向做拉曼線掃描, 使用100X物鏡，獲得石墨烯G峰拉曼強度的空間分布曲線，其強度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像縱向光學(xué)分辨率
3.4?顯微光路：
1) 光學(xué)顯微鏡采用科勒照明方式
2)?配備明暗場物鏡：10倍物鏡，50倍物鏡（長工作距離），100倍物鏡
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